GM 研發型粉末ALD
產品概況
GM系列自動粉末原子層沉積設備可以在微納米粉體上實現均勻可控的原子層沉積或分子層沉積生長。該系統具有專利粉末樣品桶、動態粉末流化機構、全自動溫度控制、ALD前驅體源鋼瓶、自動溫度控制閥、工業級安全控制等設計選項,是先進能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應用的最佳研發工具。
技術優勢
良好的均勻性與批次穩定性<3%
前驅體最大可包括2組反應氣體,5組液態或固態反應前驅體
可實現高達100ml/1000ml粉末原子層沉積包覆
包覆材料品質優異,材料成分可實現原子層級別單相或多相設計