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QBT-J 300 超高真空互聯(lián)多腔體互聯(lián)約瑟夫森結(jié)制造系統(tǒng)
QBT-J 300 為符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的超高真空多腔體互聯(lián)系統(tǒng)，集成了設(shè)備前端模塊、進(jìn)樣室、出樣室、中央傳輸模塊、預(yù)處理腔體、離子束刻蝕腔體、電子束蒸發(fā)腔體以及氧化腔體，整套系統(tǒng)配備人機(jī)交互系統(tǒng)，可以對接天車系統(tǒng)，采用FOUP進(jìn)樣，工藝過程可以全自動運(yùn)行，同時滿足低顆粒度工藝需求，制造高質(zhì)量的約瑟夫森結(jié)器件。
QBT-P300 Cluster 超高真空磁控濺射集群系統(tǒng)
具備超高真空背景環(huán)境，全自動操作，可在高溫和常溫下實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量鉭膜生長，鉭膜的Tc超過4.25 K，剩余電阻比大于6，用于制備低損耗超導(dǎo)電路，單光子品質(zhì)因數(shù)超過100萬，且對應(yīng)的量子比特相干時間超過250μs。
