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韞茂科技自主研發(fā)的【MINI】是一款緊湊型高端桌式熱原子層沉積系統(tǒng)，最適合實(shí)驗(yàn)室使用，功能強(qiáng)大，操作簡單，可以在4/6寸晶圓和微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積。

MINI包含流動(dòng)法及動(dòng)靜態(tài)法，可實(shí)現(xiàn)高深寬比結(jié)構(gòu)均勻鍍膜、薄膜疊層工藝，能夠精確控制元素比例。

1、占地面積小，最適合實(shí)驗(yàn)室，可放置于桌面操作

2、全自動(dòng)化人機(jī)界面，維護(hù)簡單

3、具有極佳的工藝重復(fù)性，可精準(zhǔn)控制不同元素比例的原子層沉積

4、可沉積各類氧化物薄膜/粉末，可實(shí)現(xiàn)不同薄膜的疊層工藝

1、沉積溫度：室溫至360℃

2、重量：約70kg

3、毫秒級響應(yīng)；樣品裝載4/6 inch

4、極限真空：≤50 mTorr

工藝展示：

半導(dǎo)體、傳感器、光學(xué)、鈣鈦礦、鋰電池、納米材料、催化劑、電鏡樣品（透明導(dǎo)電、high-k、氧化物、金屬、 氮化物等）

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